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  • 电子扫描显微镜
    百科

    电子扫描显微镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子...详细>
    试样:块状或粉末颗粒
    成像信号:二次电子、背散射电子或吸收电子
    主要功能:三维形貌的观察和分析
    中文名称:电子扫描显微镜
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